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- 特性
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普旭真空泵COBRA DS 0600是一款性能出色的干式螺杆真空泵，专为高要求工艺设计用了先进的螺杆设计，确保了出色的运行品质。其高效的抽速和强劲的抽氢性能，使得它非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用。此外，该泵还具有低维护、保养间隔长、运行时间长以及高效水冷却等特点，这些都为用户提供了极大的便利
关键词:- 0600
- 沉积
- 真空泵
- 螺杆
- 高效
- 运行
- 出色
- 设计
- 性能
- 用户
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COBRA DS 0600的额定抽速为600 m³/h，极限压力可以达到0.01 hPa （mbar），电机额定功率为15 kW。同时，其结构紧凑，采用了密闭式设计以及直联的罐装电机，这使得泵在运行时更加稳定且占用空间更小。
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